【摘 要】
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采用不同的(ZrO2)x(SiO2)1x薄膜(x=1.0,0.92,0.79,0.63,0.46,0.28,0.17和0.08)作为电荷存储层制备了电荷陷阱闪存器件.研究了存储窗口、数据保持性能及写入/擦除速度等存储性能对薄膜组分x的依赖关系.结果 表明,当x=0.63时,器件的性能最佳.±10V扫描电压范围,存储器件具有10.7V的存储窗口；经过10年的保持时间,电荷损失量仅为9.0％；当x=0
【出 处】
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2016第九届全国大学生创新创业年会
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采用不同的(ZrO2)x(SiO2)1x薄膜(x=1.0,0.92,0.79,0.63,0.46,0.28,0.17和0.08)作为电荷存储层制备了电荷陷阱闪存器件.研究了存储窗口、数据保持性能及写入/擦除速度等存储性能对薄膜组分x的依赖关系.结果 表明,当x=0.63时,器件的性能最佳.±10V扫描电压范围,存储器件具有10.7V的存储窗口；经过10年的保持时间,电荷损失量仅为9.0％；当x=0.79和0.63时,存储器件表现出快速的写入/擦除速度.该结果应归因于(ZrO2)x(SiO2)1-x组分变化引起的微结构、缺陷态和能带排列的差别.当x处于0.63-0.79之间时,电荷陷阱闪存器件可以达到存储性能之间的平衡.
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