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集成电路的迅速发展和市场对新产品的强烈需求，使未来微机电系统(MEMS)市场潜力将非常惊人。在这些MEMS新兴产业中，微生物MEMS，数字导航MEMS，振荡器MEMS将是最有发展前景的领域。在未来5-10年间，世界各地不同领域的科研工作者对MEMS的研究将延伸至机械、材料、光学、流体、化学、医学、生物等学科，技术影响遍及包括各种传感器件、医疗、生物芯片、机器人、通信、能源、武器、航空航天等领域。