【摘 要】
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光子晶体是由具有不同介电常数的介质材料在空间呈周期性排布的结构。理论和实验结果均证明，在LED的表面或内部引入光子晶体结构可以极大地提高LED的出光效率。目前制造具
【机 构】
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东南大学电子科学与工程学院先进光子学中心
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光子晶体是由具有不同介电常数的介质材料在空间呈周期性排布的结构。理论和实验结果均证明，在LED的表面或内部引入光子晶体结构可以极大地提高LED的出光效率。目前制造具有光子晶体结构的LED的方法主要有以下三种，即电子束光刻法、纳米压印法、激光全息干涉法。虽然电子束光刻法的制备精度很高，但设备昂贵且生产能力非常低，因此不适合光子晶体LED的工业化生产。纳米压印法虽然具有高分辨率、高生产率和低成本的优点，但是纳米压印的模板经过多次使用后会使LED的外延层表面容易受到污染，从而严重降低光子晶体LED的良品率，故也不太适合工业化生产。与前两种方法相比，激光全息干涉法具有成本低、速度快，适合在大面积衬底上制作光子晶体等突出优点。因此，本文将重点介绍以激光全息干涉法制备二维光子晶体LED的工艺过程及其特征。
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