提高倒装AlGaInP LED光效的表面粗化研究

• 作 者: 张秋霞;夏伟;苏建;陈康;孔洪美;徐现刚;
• 机 构: 山东浪潮华光光电子有限公司,济南 250101
• 出 处: 第十二届全国LED产业研讨与学术会议(2010’LED)
• 发表日期: 2010年期

为了提高光提取效率，对倒装LED表面进行粗化。采用湿化学法在AlGaInP LED的n型面上形成了三角结构粗糙表面。AFM分析了粗糙表面形貌，这种形貌与LED光输出功率有很大关联。20 mA下，表面粗化的LED与未粗化相比光功率提高80％。粗化的表面可减少光在AlGaInP材料内部的多次反射，使光线从内部折射出来，从而提高出光效率。