论文部分内容阅读
对柱塞式航空液压泵配流副的渗氮钢配油盘进行N<'+>离子注入后， 经三种型号液压泵，五台次的累计2400h试车考核证实： 离子注入技术对提高航空液压泵的寿命和可靠性有显著效果。
离子注入在航空液压泵配流副上的应用
【摘 要】
：
对柱塞式航空液压泵配流副的渗氮钢配油盘进行N
【机 构】
：
贵阳航空液压件厂
【出 处】
：
'99全国荷电粒子源粒子束学术会议
【发表日期】
：
2004年期
其他文献
该文介绍ＳＩＭＳ分析技术在半导体生产中几个典型的应用实例：１．在材料分析方面的应用一鉴别杂质成份，２．在工艺分析方面的应用－了解工艺情况，３．在解剖分析方面的应用－－获得器件内部组成成份，以此说
用ＭＥＶＶＡ离子源将Ｌａ离子注入到单晶硅中形成掺杂层，用ＸＲＤ、ＳＥＭ分析了掺杂层的物相和表面形貌。分析表明在强流离子注入后，掺杂层中有硅化物形成，且形成相的种类与注入离子剂量、束流密度及后续
ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ ｏｎ Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）技术发展迅速，被认为是２１世纪最重要的硅集成电路技术。ＳＯＩ－ＣＭＯＳ电路具有高速度、低功耗、抗辐照等一系列优点。作者用氧、氮离子注入硅中，得到性能良好的ＳＩＭＯＸ（Ｓｅｐａｒａｔｉｏｎ ｂｙ Ｉｍｐｌａｎｔｅｄ Ｏｘｙｇｅｎ）和ＳＩＭＮＩ（Ｓｅｐａｒａｔｉｏｎ ｂｙ Ｉｍｐｌａｎｔｅｄ Ｎｉｔｒｏｇｅｎ）薄膜材料。研
该文介绍了离子注入技术及其在航空液压泵上的成功应用，及该项技术在提高液压泵摩擦副一配流副的可靠性寿命方面的显著作用，初步探索了如何把科研成果转化为主产力，把高新技术转