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介绍了我国太阳能硅片发展现状及硅片清洗技术,讨论了硅片清洗对表面活性剂的要求及表面活性剂在清洗中的作用原理,综述了表面活性剂在硅片清洗中的应用,并提出了硅片清洗用表面活性剂的发展趋势。
表面活性剂在太阳能硅片清洗中的应用
【摘 要】
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介绍了我国太阳能硅片发展现状及硅片清洗技术,讨论了硅片清洗对表面活性剂的要求及表面活性剂在清洗中的作用原理,综述了表面活性剂在硅片清洗中的应用,并提出了硅片清洗用
【机 构】
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大连理工大学机械工程学院,辽宁大连116021大连三达奥克化学股份有限公司,辽宁大连116023大连理工大学机械工程学院,辽宁大连116021大连理工大学精细化工国家重点实验室,辽宁大连116012
【出 处】
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中国工程院第88场工程科技论坛(全国第十六次工业表面活性剂研究与开发会议)
【发表日期】
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2009年8期
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