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微衍射光栅是微光机电系统中重要的器件之一。当光栅特征尺寸与波长大小相当或更小时，对这种光栅的衍射光学特性的研究，是一个重要问题。该文以电磁理论为基础，通过严格的矢量衍射理论对微衍射总是进行严格分析，讨论入射光波长、光栅结构形状、特征尺寸对衍射效率和偏振特性的影响，这些分析和研究结果对微光机电系统的设计具有十分重要的指导意义。