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利用具有相反热光特性的氮氧化硅与聚合物材料,采用混合集成波导结构设计了一种低功耗S型可变光衰减器.该衰减器以聚合物为芯层材料,氮氧化硅为包层材料,在弯曲波导上方制作加热电极从而通过热光效应来实现可调谐的衰减功能.由于在S型波导两侧制作了空气槽以增加热利用效率,因此可实现低的功耗.初步制作的样品在功耗为16.2mW时,器件能达到的最大衰减量为46dB,所对应的插入损耗为5.4dB.