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该文分析了离子束刻蚀法用于多台阶衍射光学零件(DOE)制作中与刻蚀速率有关的影响因素及工艺参数的选取，并提出了一种有效的定标方法，该方法在实际制作16台衍射光学元件过程中证明，是一种行之有效的方法。
离子事刻蚀法制作多台衍射光海陆空元件研究
【摘 要】
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该文分析了离子束刻蚀法用于多台阶衍射光学零件(DOE)制作中与刻蚀速率有关的影响因素及工艺参数的选取，并提出了一种有效的定标方法，该方法在实际制作16台衍射光学元件过程中
【机 构】
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中国科学院箕光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室(长春)
【出 处】
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中国光学学会98年中国青年光学学术研讨会
【发表日期】
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1998年7期
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