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本文系统地介绍了热解氮化硼材料的制备工艺、结构表征、沉积机理和影响热解氮化硼制备的关键工艺参数,重点对BN的沉积机制和反应机理进行了综合分析,对热解氮化硼的相关性能和应用作了介绍及对制备工艺、沉积机理研究中的一些问题提出了研究思路。
热解氮化硼
【摘 要】
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本文系统地介绍了热解氮化硼材料的制备工艺、结构表征、沉积机理和影响热解氮化硼制备的关键工艺参数,重点对BN的沉积机制和反应机理进行了综合分析,对热解氮化硼的相关性能
【机 构】
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中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室,辽宁 沈阳 110016
【出 处】
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第八届全国新型炭材料学术研讨会
【发表日期】
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2007年期
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