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该文介绍了一种以激光传感器为核心的薄膜厚度测量系统和以模糊理论为基础的模头唇口调节方法，以及工控机在系统中的应用。
激光式在线薄膜厚度测量调节系统的研究
【摘 要】
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该文介绍了一种以激光传感器为核心的薄膜厚度测量系统和以模糊理论为基础的模头唇口调节方法，以及工控机在系统中的应用。
【机 构】
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天津市检测技术研究所
【出 处】
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2000年工业仪表与自动化学术会议
【发表日期】
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2000年期
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