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Photoluminescence and radiation effect of Er and Pr implanted silicon-rich silicon oxide thin films
【机 构】
：
DepartmentofPhysics,SchoolofScience,BeihangUniversity,Beijing100191,ChinaDepartmentofMaterialsScienc
【出 处】
：
9th International Conference on Computer Siumlaation of Radi
【发表日期】
：
2008年10期
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