大尺寸AMOLED的关键工艺技术研究

• 作 者: 熊志勇 赵本刚 何为 叶添异 汪涛 刘伟 曾章和 黄维邦 向传义
• 机 构: 上海天马微电子有限公司OLED项目部，上海201201
• 出 处: 2012中国平板显示学术会议
• 发表日期: 2012年5期
• 关键词: 显示屏生产 制造工艺 主动矩阵式有机发光二极管 有机发光二极管 低温多晶硅

　　本文主要介绍一种基于LTPS(低温多晶硅)和小分子OLED(有机发光二级管)三次蒸镀技术的12inch AMOLED(主动矩阵式有机发光二极管)显示屏制造工艺技术。对在工艺调试过程中影响器件性能及产品不良的关键工艺因子进行了阐述和分析，并对基于此工艺生产出的12inch AMOLED显示屏特性进行了系统研究，同时，对后续的产品量产导入和产品应用前景进行了展望。