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在硅片上脉冲镀铁镍合金工艺参数的研究
在硅片上脉冲镀铁镍合金工艺参数的研究
来源 :中国青年腐蚀与防护学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wzs
【摘 要】
:
该文采用方波脉冲电流从加有一般光亮剂的磷酸盐-氯化镍槽液中,在单面镀银硅片上沉积得到固定组成的合金镀层,镀层的热膨胀系数接近硅。并应用正交试验对电镀时的脉冲参数进行了
【作 者】
:
王晨
陈英
【机 构】
:
院上海冶金研究所金属腐蚀与防护技术中心
【出 处】
:
中国青年腐蚀与防护学术研讨会
【发表日期】
:
1997年期
【关键词】
:
硅片
脉冲镀
铁镍合金
脉冲参数
合金镀层
热膨胀系数
正交试验
脉冲电流
合金成分
氯化镍
磷酸盐
光亮剂
组成
优化
应用
方波
镀银
电镀
单面
槽液
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该文采用方波脉冲电流从加有一般光亮剂的磷酸盐-氯化镍槽液中,在单面镀银硅片上沉积得到固定组成的合金镀层,镀层的热膨胀系数接近硅。并应用正交试验对电镀时的脉冲参数进行了优化,同时还研究了脉冲参数对镀层合金成分的影响。
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