论文部分内容阅读
由于制程工艺的局限,太阳能硅片不可避免地会存在许多品质瑕疵或者缺陷,其中的隐裂缺陷是最难以检测和识别的.而含有隐裂缺陷的硅片一旦流入后道的电池片制作流程,会导致碎片甚至导致后续潜在的整版电池组件的电学性能失效,造成极大的无效成本浪费.如何有效地对太阳能硅片的隐裂进行在线检测和识别,一直以来都困扰着广大的硅片制造商和电池片制造商. 本文着重介绍的增强型多镜头隐裂缺陷识别技术的两个主要基本原理:1.图像放大技术-如何从图像上识别出硅片裂纹宽度小于镜头分辨率极限的隐裂;2.图像比较判别技术-如何消除多晶晶界对隐裂判别的干扰,以及如何识别那些传统硅片检测设备无法检测到的隐裂缺陷.