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六氮五铌(Nb5N6)薄膜的制备与性能研究

来源 :第十四届全国超导薄膜和超导电子器件学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：buyezhicheng

【作 者】

：

蒋成涛 康琳 

【机 构】

：

南京大学

【出 处】

：

第十四届全国超导薄膜和超导电子器件学术研讨会

【发表日期】

：

2016年5期

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