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Nb超导薄膜和Nb/Al-AlOx/Nb三层膜应力特性研究

来源 :第十四届全国超导薄膜和超导电子器件学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wx669

【作 者】

：

吴禹 

【机 构】

：

中国科学院超导电子学卓越创新中心

【出 处】

：

第十四届全国超导薄膜和超导电子器件学术研讨会

【发表日期】

：

2016年5期

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