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微结构器件既是微制造技术的重要研究内容，也是精密/超精密测量领域的研究热点和重点；微结构器件的加工精度需要可靠的精密形貌测量技术作为质量保障的有效手段。然而，不断出现的具有陡峭斜坡特征的微结构器件(如深沟槽微结构器件、渐开线微结构器件、非球面微结构器件以及自由曲面微结构器件等)，给精密/超精密形貌测量技术提出超越精度极限的挑战。