【摘 要】
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极紫外光刻技术被认为是下一代最有潜力的光刻技术,对推动集成电路发展具有重要作用.极紫外光源是极紫外光刻技术的源头,其技术水平直接制约了光刻技术的发展.气体放电等离子体极紫外光源结构简单,转换效率高,适合大规模工业应用,具备良好的应用前景.现有气体放电等离子光源包括毛细管放电等离子体极紫外光源,激光辅助等离子体极紫外光源,等离子聚焦极紫外光源和中空阴极管放电等离子体极紫外光源.近年来,极紫外光光刻技
【机 构】
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电力设备电气绝缘国家重点实验室,西安交通大学,西安710049
【出 处】
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中国电机工程学会高电压专业委员会2015年学术年会
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极紫外光刻技术被认为是下一代最有潜力的光刻技术,对推动集成电路发展具有重要作用.极紫外光源是极紫外光刻技术的源头,其技术水平直接制约了光刻技术的发展.气体放电等离子体极紫外光源结构简单,转换效率高,适合大规模工业应用,具备良好的应用前景.现有气体放电等离子光源包括毛细管放电等离子体极紫外光源,激光辅助等离子体极紫外光源,等离子聚焦极紫外光源和中空阴极管放电等离子体极紫外光源.近年来,极紫外光光刻技术工业化进展较快,对气体放电等离子体技术进行综述,掌握最新研究进展有助于推动我国相关领域研究。
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