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叙述了DCCZ-6型等离子体材料处理装置电源的控制原理及具体设计方案。
等离子体材料处理装置电源的设计
【摘 要】
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叙述了DCCZ-6型等离子体材料处理装置电源的控制原理及具体设计方案。
【机 构】
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河北大学静电研究所(保定)
【出 处】
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中国物理学会第九届静电学术年会
【发表日期】
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2000年期
其他文献
在直流等离子体射流ＣＶＤ装置上安装了磁铁装置，沉积出较大面积均匀金刚石膜（ｄ３０ｍｍ）。用ＸＲＤ，Ｒａｍａｎ，ＳＥＭ研究了金刚石膜的结构、组分和形貌，并用表面轮廓仪评估了磁场对金刚石膜厚度均匀性的影响。结果表明