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电子束蒸发薄膜制备系统宽光谱实时监控设计和实现
【机 构】
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复旦大学光科学与工程系,教育部微纳光子结构重点实验室,上海,200433
【出 处】
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第十五届全国凝聚态光学性质学术会议(OPCM'2010)
【发表日期】
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2010年8期
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