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缓冲层对BST(Ba0.6Sr0.4TiO3)薄膜的生长及介电性能有重要的影响.缓冲层的加入，不但影响基板与BST之间的结构，而且使BST的综合性能得到了一定程度的改善.本文综述了常见的缓冲层材料在BST生长中发挥的作用，及其对BST介电性能的影响.
缓冲层对BST薄膜结构及性能的影响
【摘 要】
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缓冲层对BST(Ba0.6Sr0.4TiO3)薄膜的生长及介电性能有重要的影响.缓冲层的加入，不但影响基板与BST之间的结构，而且使BST的综合性能得到了一定程度的改善.本文综述了常见的
【机 构】
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电子科技大学电子科学技术研究院 成都611731
【出 处】
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综合电子系统技术教育部重点实验室暨四川省高密度集成器件工程技术研究中心2012学术年会
【发表日期】
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2012年期
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