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通过对大量实验数据的处理，得出了厚度的两种分布——径向分布及方位分布。对此，从建立溅射区域的物理模型入手，得出了靶极的电场强度的径向分布和靶极轴心线上的电场强度分布以及溅射区域内的磁感应强度分布，最终把洛仑兹力以等力线的形式形象地表述出电离粒子在电场与磁场双重作用下的运动轨迹，从理论上解释了厚度按径向分布和方位这一事实。最后，给出了利用JS-450型射频溅射仪制取相对误差小于5℅的置信域，而且还指出了设备设计上的不足和改进的有效措施。（本刊录）