适用于汽车工业的MEMS压力传感器专用电路

• 作 者: 郑政
• 机 构: 智恒(厦门)微电子有限公司厦门观日路34号,102B座361008
• 出 处: 第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
• 发表日期: 2014年期
• 关键词: 汽车工业 MEMS 压力传感器 专用电路 温度补偿 精度要求 力传感器设计 校正

MEMS压力传感器在汽车工业中有着广泛的应用.为了使传感器能在汽车工业要求的-40～125℃的工作范围内能达到精度要求,专用电路(ASIC)正越来越多地被用于传感器的校正和温度补偿.本文讨论了为汽车MEMS压力传感器设计的一款校正及温度补偿专用电路,利用这一专用电路,MEMS压力传感器可以在-40℃到125℃内达到±3％FSO的精度要求,满足汽车工业的要求.