微机械气流式全方位水平姿态传感器气体摆特性的三维有限元分析

• 作 者: 刘玉洁 李言杰 张福学 宋佳 朴林华
• 机 构: 北京信息工程学院 北京 100101
• 出 处: 中国电子学会第十五届电子元件学术年会
• 发表日期: 2008年期
• 关键词: 微机械 气流式 全方位 水平姿态传感器 气体摆 敏感元件 流场和温度场 倾斜角度 有限元方法 自然对流 三维模型 热敏电阻 热源 两相 结果 检测 计算 分布

采用有限元方法,解释了微机械气流式全方位水平姿态传感器的气体摆特性.通过建立敏感元件的三维模型,计算了在不同倾斜状态下敏感元件中的对流场和温度场.结果表明:(1)敏感元件内自然对流气体具有"摆"的特性.(2)敏感元件中的温度场呈羽状分布.(3)当敏感元件倾斜时,热源周围两两相对的检测热敏电阻处的温度不相等,而且两者温度之差随着倾斜角度的变化而改变.该传感器利用这一特性敏感任一方位的倾斜角度.