用玻璃做衬底转移的柔性非晶硅-非晶硅锗叠层太阳电池的技术研究

• 作 者: 洪承健 李沅民 连重炎 彭长涛 李涛 黄显艺 彭福国 陈何辉 刘林 许永元
• 机 构: 福建铂阳精工设备有限公司研发中心
• 出 处: 第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会
• 发表日期: 2014年期
• 关键词: 玻璃衬底 柔性非晶硅 硅锗 叠层太阳电池 硅基薄膜太阳电池 优化制备工艺 太阳电池组件 生产工艺

采用量产的玻璃衬底硅基薄膜太阳电池的沉积设备及相对应的生产工艺,利用玻璃做衬底转移,制备低成本的聚酯膜衬底的柔性太阳电池组件.通过优化制备工艺,采用LPCVD制备的BZO薄膜作透明前电极,得到尺寸为0.79m2(1245mm×635mm),背电极为铝的非晶硅-非晶硅锗的三叠层薄膜柔性太阳电池,并实现大规模的量产.