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微通道板(Microchannel plate,MCP)是于20世纪60年代末开发成功的一种简单紧凑的大面阵微通道电子倍增器件,是对二维空问分布的电子流进行倍增的元件。其对电子、离子、加速中心粒子、短波光量子十分敏感,具有低功耗、自饱和、高速探测和低噪声等优点。在军事、国防、空间技术、医用X射线成像及材料检验分析仪器等领域中的重要作用倍受人们重视。静态飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)凭借着其高灵敏度、高分辨率和大质量范围以及全元素分析等显著优势,是进行微尺度观察和表面涂层元素分析的理想工具。本文给出运用TOF-SIMS分析微通道板表面涂层的实例。