【摘 要】
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超导纳米线单光子探测器(SNSPD)由于暗计数低、重置时间短等优点，是一类性能优异的单光子探测器。但由于制作纳米线的超导薄膜很薄，仅几个纳米，多数光子被反射或透射丢失掉，光子的吸收效率很低；另一方面，构成探测器的纳米线宽度只有百纳米甚至几十纳米，难以大面积制作，目前比较成熟的工艺只能做到10μm×10μm 左右，光接收面积非常有限，而且这么有限的光接收面内还有近一半区域为纳米线间隙，无法吸收利用光
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海 200083 上海节能镀膜玻璃工程技术
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超导纳米线单光子探测器(SNSPD)由于暗计数低、重置时间短等优点，是一类性能优异的单光子探测器。但由于制作纳米线的超导薄膜很薄，仅几个纳米，多数光子被反射或透射丢失掉，光子的吸收效率很低；另一方面，构成探测器的纳米线宽度只有百纳米甚至几十纳米，难以大面积制作，目前比较成熟的工艺只能做到10μm×10μm 左右，光接收面积非常有限，而且这么有限的光接收面内还有近一半区域为纳米线间隙，无法吸收利用光信号，这是目前超导纳米线单光子探测器所面临的原理障碍。
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