一种简单的微流量测控系统研究

来源 :中国兵工学会第10届测试技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:luxi0194
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测量和控制流体的流量在科学和技术的许多领域都十分重要,随着医药、生物工程、化学分析等领域的进一步发展,对微流量与控制提出了更高的要求.本文概述了当前微流量测量的现状,分析了现有系统在用于微流量测量时所需解决的问题. 由于硅压力传感器具有宽测量范围、高灵敏度及低成本等优点,本文提出了利用差压式硅压力传感器实现微流量的测量与控制.给出了压力传感器的输出曲线及动态范围;研究了九种等截面微管道对流体静压的影响,给出了压差与流量的关系曲线;设计并搭建了利用差压式硅压力传感器测量流量的简单系统;基于实验,分析了系统的测量范围与灵敏度,结果表明整个系统有较强的通用性.
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