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本文综述了模具表面改性的新技术,包括了化学气相沉积(CVD)、等离子体增强化学气相沉积(PCVD)、物理气相沉积(PVD)等.重点介绍了模具离子氮碳共渗与沉积类金刚石(DLC)膜复合处理的性能及其应用.
表面复合处理技术在模具上的应用
【摘 要】
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本文综述了模具表面改性的新技术,包括了化学气相沉积(CVD)、等离子体增强化学气相沉积(PCVD)、物理气相沉积(PVD)等.重点介绍了模具离子氮碳共渗与沉积类金刚石(DLC)膜复合
【机 构】
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广东省工业技术研究院新材料研究所,广东广州510651广东省工业技术研究院新材料研究所,广东广州510651;华南理工大学材料科学与工程学院,广东广州510640
【出 处】
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广东省真空学会2011年学术年会
【发表日期】
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2011年12期
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