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对于磁控溅射法制备ZnO基薄膜来说，相应的靶材性能在很大程度上影响到其制得薄膜的性能。为提高常压烧结法制备的掺铝氧化锌(ZAO)靶材性能，以高纯度的Al-ZnO复合粉末为原料，对制备工艺参数进行优化。采用XRD和SEM分析靶材的化学成分和微观形貌。结果表明：湿法球磨对混合料的均匀度有利；随成型压力提高，靶材致密度和电阻率呈增加趋势；烧结温度与烧结时间对靶材的电阻率有很大的影响。通过反复的实验，确定最佳的优化制备参数，所得的薄膜能在高真空多功能磁控溅射仪上正常工作，并成功制备得到性能良好的ZAO薄膜，整个制备过程简单，操作方便可行，大大降低靶材的制备成本。