金刚石切割多晶硅片气相刻蚀制绒技术及其电池应用研究进展

来源 :第十二届中国太阳级硅及光伏发电研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：rsbgrc

【摘要】

：

金刚线切割多晶硅片常规酸性湿法制绒问题减反射效果不足切割纹依然可见VE制绒技术研发进展简介机理:蒸气凝结微液滴刻蚀(Semiconductor Sci.Tech.2016,Mater.Sci.Semiconductor Process,2016)控制条件:基本掌握开发路线:单片→500片/hr→3000片/hr计划一年完成.目前完成单片装置和初步实验

【作者】

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肖志刚岳之浩陈文浩李妙周浪金善明宫龙飞阮文娟吉鑫李鹏鲲

【机构】

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南昌大学光伏研究院苏州协鑫光伏

【出处】

：

第十二届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

【发表日期】

：

2016年10期

【关键词】

：

多晶硅片切割工艺金刚线酸性湿法制绒

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