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主要内容背景介绍西门子法多晶硅技术进展与成本下降情况我国改良西门子法多晶硅生产发展继续研究开发冶金法多晶硅我国多晶硅产业面临的问题及应对措施一、背景介绍多晶硅对国家半导体产业、太阳能产业发展至关重要多晶硅生产主要集中在美、日、德三国我国的多晶硅技术改良西门子法制备多晶硅依然是有前途的方法二、改良西门子法的技术进展·缩短流程:省却SiHCl3合成工艺;·SiCl4氯氢化工艺(US专利2004年到期):3SiCl4+si+H2→siHC13生产1000kg SiHCl3消耗980kg SiCl4、55 kg硅粉·SiH2Cl2的利用·还原炉单台设备产能增长