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本文针对某双极模拟IC生产线,进行了失效模式、失效机理与关键工艺及管芯成品率的相关关系研究.对于双极模拟IC,参数漂移是其最主是要失效模式,引起参数漂移的主要原因是器件的表界面问题.通过对工艺监测技术的研究,找出了双极模拟器件表面质量的表征参数,建立了表面质量工艺监测的新方法.并找到了相应的器件表面质量控制措施,实现了生产线管芯成品率的大幅度提高.