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匀胶铬版表面界面微观构成的X射线光电子能谱表征
匀胶铬版表面界面微观构成的X射线光电子能谱表征
来源 :分析测试学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong480
【摘 要】
:
用X射线光电子能谱(XPS)研究几种不同工艺制备的匀胶铬版表面,铬膜内部以主各层之间界面处的微观化学组成和化学状态,讨论了不同工艺对铬版材料微观构成及宏观特性的影响。
【作 者】
:
任殿胜
华庆恒
【机 构】
:
天津电子工业部第四十六研究所
【出 处】
:
分析测试学报
【发表日期】
:
1997年5期
【关键词】
:
匀胶铬版
表面
界面
XPS
铬版
光刻掩模材料
Crfilms
Surface
Interface
XPS.
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用X射线光电子能谱(XPS)研究几种不同工艺制备的匀胶铬版表面,铬膜内部以主各层之间界面处的微观化学组成和化学状态,讨论了不同工艺对铬版材料微观构成及宏观特性的影响。
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