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由于磁性材料在新技术中的广泛应用,磁场与应力场耦合问题受到越来越多的重视。磁无损检测技术的发展急需从机理层面定量研究结构变形与磁场变化之间的关系。在MEMS技术中,由于薄膜的尺寸效应,应力与磁场间的耦合作用变得更加突出,针对MEMS技术中常用的薄膜类结构进行力磁耦合分析研究也十分必要。基于磁弹性相互作用理论,给出了变形引起的扰动磁场计算的定解方程和界面衔接条件。针对地磁环境特点,忽略磁场对结构位移的影响而仅考虑位移对磁场的耦合作用,通过将位移梯度引入变形后界面外法线矢量的方法来实现力磁的耦合作用。对受拉无限大平板的扰动磁场分析表明,位移梯度在法线方向的投影对扰动磁场的产生起了关键作用,如果该投影为零,则不会引起扰动磁场。采用傅里叶变换方法对受集中力作用半平面问题的变形扰动磁场进行了求解,并对空气中的扰动磁场强度分布及量级进行了讨论。结果表明,空气中扰动磁场的法向强度和切向强度分布特征明显不同,法向强度关于力作用点对称分布,并且在力作用点处达到最大;切向强度关于力作用点反对称分布,并且在力作用点处有突变;磁场对位移的影响可以忽略不计;扰动场强与外力成正比。采用分离变量方法对带圆孔的受拉无限大板在横向外磁场中的变形扰动磁场进行了求解,并对板中的扰动磁场强度分布及量级进行了讨论。结果表明,扰动场强与外力成正比;与外磁场强度相比变形扰动磁场小3个量级,并且沿圆孔边45°方向增加了突变;扰动磁场具有更强的局部特征。