【摘 要】
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该文研究开发了几种新型的微机电系统光开关,成功解决了微驱动器研制、光开关整体结构设计和光路调整等问题.所开发的光开关具有插入损耗低、体积小等优异性能,并已通过上海
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该文研究开发了几种新型的微机电系统光开关,成功解决了微驱动器研制、光开关整体结构设计和光路调整等问题.所开发的光开关具有插入损耗低、体积小等优异性能,并已通过上海市科委组织的成果鉴定,受到了鉴定专家的好评.设计制造了一种新型MEMS摆动式微电磁驱动器,该驱动器采用双定子单摆盘和多线圈多磁极的轴向磁通结构,具有较大的输出力矩.微驱动器采用了微细加工、精密制造及精密装配相结合的制造工艺.定子采用铁氧体导磁材料基板,保证了磁路闭合.利用一套以掩模工艺为主,配上深层光刻、溅射和干法刻蚀为辅的非硅材料微细加工工艺,确保了字子的加工质量.摆盘采用硅钢处胶合钐钴永磁材料结构,并对其进行饱和充磁来提高输出力矩.利用微电磁驱动器作为驱动源,设计制造了1×2、2×2、1×4、和1×8四种典型的光开关.用高斯光束传输理论和矩阵光学说明了光纤通过自聚焦透镜耦合时位置误差对耦合损耗的影响.对光开关的插入损耗、回波损耗、消光比和重复性等光学性能参数进行了测量.测试结果表明,所研制的光开关具有优良的光学性能,表明其具有良好的应用前景.
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