离子液体/乙醇混合体系电沉积CuIn1-xGaxSe2合金工艺研究

来源 :中国电子学会电子制造与封装技术分会电镀专家委员会第十七届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hezefgj
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铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池具有效率高、禁带宽度可调、稳定性好、抗辐射能力强等突出优点.使用离子液体/乙醇混合体系电沉积制备符合最佳化学计量比的CIGS薄膜,采用扫描电子显微镜(SEM)与X射线能谱仪(EDS)对制备的CIGS薄膜的形貌及成分进行了表征.研究了电流密度、电沉积温度、混合体系的组成比与四种主盐CuCl2、InCl3、GACl3、SeCl4的浓度对镀层成分及形貌的影响,最终通过控制工艺参数制得了化学计量比为CuIn0.90GA0.09Se2.28的CIGS薄膜.
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